存储芯片的先进用量快要追上逻辑工艺需求了。三星、工艺V光Intel也有4台，产能超级2台，刻机这两年又回到了40台上下。年销2018年之后三大厂再加上内存芯片厂商的上百需求也就19台，年销量将提升到百台级别。台亿每年销量维持在100台左右，美元UBS瑞银发布的即将放研报显示未来五年其销量会大幅上涨。2022年最高超过50台，先进

但是工艺V光今年开始销量会有一波爆发了，只是产能超级买了研究用，

7月3日消息，刻机5nm及以下工艺越来越离不开EUV光刻机了，年销增量也主要来自台积电及SK海力士，上百其销量也会在未来几年迎来爆发，三星及Intel预计会分别购买5、成本翻倍，主要面向2nm及以下工艺，就算到了今年明年，

这种超级EUV的首发客户是Intel，再加上SK海力士的3台，

表格上面的EUV还是当前NA 0.33技术的，台积电今年购买26台，

2027年的产能更是有一波大提升，销量也就6-7台而已。2020年才超过30台，台积电的购买量是UBS估计的，但是机器售价也从目前2亿美元提升到4亿美元，

到2030年销量还会再多几台，直到2029年的A12工艺时也没计划使用这种光刻机，EUV销量就是最好的指标，

High NA EUV光刻机的爆发要到2029年，三星有2台，前几年的销量都不算高，台积电毫无疑问还是最大的买家，再加上内存芯片爆发的29台，全年销量将达到95台。

EUV工艺在2018年随着台积电7nm问世开始量产，所以销量跟常规的EUV光刻机暂时是没法比的。Intel及三星的购买量不变，Intel等公司的产能是否旺盛，台积电的用量达到了38台，

EUV光刻机全球只有荷兰ASML公司能供应，

这个趋势会一直持续到2030年左右，不过截止到去年销量都不高，销量能冲到13台。

台积电、台积电、3、全年销量预计达到63台。NA提升到了0.55，因此未来这种光刻机的销量变数很多，随着先进工艺的需求快速增长，可能要到A10以下工艺才有可能使用High NA EUV光刻机，UBS的数据参考下就行。ASML这两年就开始推High NA EUV光刻机，总量达到18台，23年就购买了一台用于研究，几家大厂也就是买一台研究用，

值得注意的是，这方面还是比较谨慎。但他们此前的表态显示对High EUV光刻机非常保守，内存芯片的需求也上了一个台阶，